1、高效節(jié)能。主要有多級蒸餾、高壓分級蒸餾和離心凈化蒸餾幾種工藝。所有蒸餾方法均在120°C高溫狀態(tài)下進行，所以可以得到完全無菌的水。因此，運行當(dāng)中能源的消耗相當(dāng)大。

　　同時因為溫度較高，所有超純水處理設(shè)備組成部分必須耐受高溫沖擊，它的的造價及維護費用高昂。反滲透技術(shù)結(jié)合高效臭氧消毒方法，整個系統(tǒng)工作于常溫、低壓狀態(tài)，設(shè)備投資省，運行維護費用低。膜處理法的運行成本僅為蒸餾方法的12-15%，非常經(jīng)濟，極具競爭力。

　　2、穩(wěn)定可靠。隨著工業(yè)化進程的不斷加快，大量而成份復(fù)雜的廢物排放使世界范圍的污染變得日益嚴重，其中水資源的污染較之以往更加嚴峻。易揮發(fā)有機污染物因其沸點大都低于水的汽化溫度，如果不加處理，蒸餾過程中很容易進入生成的水中，單純蒸餾方法無法將其有效去除，必須倚重活性碳吸附等過濾辦法，增加了系統(tǒng)和水質(zhì)的不穩(wěn)定性。

　　膜法工藝采用多介質(zhì)過濾器進行預(yù)處理。反滲透膜的微孔透過式工作原理保證了去除水體中所有較大的離子、分子，可以輕松去除分子直徑更大的易揮發(fā)有機污染物質(zhì)，從根本上保證有機物指標(biāo)達到藥典規(guī)定指標(biāo)。

　　3、超純水處理設(shè)備中的反滲透作為預(yù)處理再配上離子交換設(shè)備，其特點為初投入比采用離子交換樹脂方式要高，但離子設(shè)備再生周期相對要長，耗費的酸堿比單純采用離子樹脂的方式要少很多。但對環(huán)境還是有一定的破壞性。

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